真空系統(tǒng)中有哪幾種壓力參數(shù)呢？

壓力參數(shù)在真空系統(tǒng)中隨處可見，指的是氣體對于固體或者液體表面的垂直作用力，且在真空系統(tǒng)中它是與壓強(qiáng)同義的。

常見的壓力參數(shù)自然是極限壓力。極限壓力是真空系統(tǒng)中真空泵性能的主要參數(shù)之一。通俗的理解就是真空系統(tǒng)抽氣過程中，經(jīng)過長時間抽氣，當(dāng)真空泵或真空機(jī)組的抽速為0或者說真空室的壓力參數(shù)一直維持在某一定值時，那就是真空泵或者真空機(jī)組的極限壓力了。

其次是工作壓力。工作壓力就是企業(yè)生產(chǎn)過程中，為保證工藝實(shí)施及產(chǎn)品質(zhì)量所必需的壓力參數(shù)。真空設(shè)備選型過程中，為滿足工藝要求，設(shè)備的極限壓力都會低于工作壓力一個數(shù)量級左右。

基礎(chǔ)壓力。在某些工藝領(lǐng)域或者技術(shù)人員口中，基礎(chǔ)壓力也叫本底壓力，指的是生產(chǎn)工藝開始實(shí)施時真空室的壓力。例如磁控濺射應(yīng)用可能需要將本地壓力抽至10-4Pa，而濺射過程的工作壓力可能在1Pa左右。

殘余壓力。殘余壓力某些時候其實(shí)和極限壓力一樣，是指經(jīng)過真空泵或者真空機(jī)組一段時間的抽氣作業(yè)后，真空室中殘存氣體的全壓。如果此時的真空系統(tǒng)已經(jīng)沒有抽速了，那殘余壓力就是真空泵或者真空機(jī)組的極限壓力。